低温等离子技术是通过导电介质在电极周围形成一个高度聚集的等离子体区。等离子体区是由高度离子化了的粒子组成，这些离子化了的粒子具有足够的能量粉碎组织内的有机分子分子链，从而使分子和分子分离，组织体积缩小。不直接破坏组织，对周围组织损伤极小。由于电流不直接流经组织，组织发热极少， 治疗温度低。所以具备表面组织温度40-70℃、间接组织损害最小、最少的热渗透、通过分子间的分离，使组织定点消融等优点。其净化作用机理包含两个方面：一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子内的化学键，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。。